そもそも、Nano-Probeとは？

　Nano-Probeとは、ナノメータサイズのトランジスターに直接針を立てて、トランジスター特性を測定できる装置の事です。半導体デバイスの解析方法には、いろいろありますが、解析手順の中で、直瀬、トランジスター特性を評価できると、不良原因の特定や歩留りUpの効率化を図る事ができます。

　（独）産業技術総合研究所で２５年間培ってきた多探針SPMの技術、特に自己検知型AFMをベースに半導体デバイスのDC測定用針立て装置を開発中です。　販売は、２０１３年４月を目標にしております。

DdProberの目標仕様も掲載しております。