先端半導体デバイスのDC電流測定が可能(超高精度針立て装置)
弊社 Wafer Integration株式会社は、2010年12月10日に設立されたベンチャー会社ですが、(独立行政法人)産業技術総合研究所が25年間研究開発してきた多探針SPM技術(特に、自己検知型AFM技術)をベースとした解析装置を製造販売する会社です。 (H23.2.7 「産総研技術移転ベンチャー」称号授与)
弊社製品の自己検知型AFM方式のナノプローブ[DdProber:WI-3000]を使うことで、先端半導体プロセスで作られたデバイス等のコンタクト(プラグ)部分に針を立て、電気的特定を直接測定することが可能です。
ご存じの様に、今までもSEMプローブ等でデバイス特性を測定しておりましたが、電子線損傷や残留炭素によるコンタクト抵抗の増加問題 そして 使い勝手の悪さの為、今後の微細化に対応できる新しいプローブが求められておりました。
弊社の自己検知型AFM方式のプローブは、デスクトップタイプで、操作性も良く、専門の操作担当者が居なくとも、最先端デバイスのDC特性が簡単に短時間で測定できることを特徴にしています。
また、デバイスへの安定的な針立てには、試料の表面処理が重要なキ―技術となり、表面処理に関するKnowHowも 弊社から合わせてご提供することを考えております。
是非、一度 弊社にお問い合わせ頂き、御社のお悩みを弊社技術者にご相談ください。
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兄弟会社の紹介
キャリア インテグレーション株式会社は、産総研ベンチャーとして2011年12月10に発足しました。
小径の半導体ウエハを8インチや12インチ等の半導体製造装置を改造せずに流す事ができるアダプター「シリコンキャリア」を製造・販売です。 ホームページはこちらから